光學(xué)輪廓儀是一種非接觸式3D表面形貌測(cè)量系統(tǒng)。它可以埃級(jí)分辨率對(duì)表面進(jìn)行高分辨率測(cè)量。該系統(tǒng)支持相位和垂直掃描干涉測(cè)量，兩者都是傳統(tǒng)的相干掃描干涉技術(shù)（CSI）。本產(chǎn)品進(jìn)一步擴(kuò)展了這些技術(shù)，它采用SMART Acquire為新手用戶簡(jiǎn)化了程序設(shè)置，并且采用z-stitching干涉技術(shù)可以對(duì)大臺(tái)階高度進(jìn)行高速測(cè)量。
光學(xué)輪廓儀測(cè)量技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于測(cè)量的垂直分辨率與物鏡的數(shù)值孔徑無關(guān)，因而能夠在大視野范圍內(nèi)進(jìn)行高分辨率測(cè)量。測(cè)量區(qū)域可以通過將多個(gè)視場(chǎng)拼接為同一個(gè)測(cè)量結(jié)果而進(jìn)一步增加。產(chǎn)品的用戶界面創(chuàng)新而簡(jiǎn)單，適用于從研發(fā)到生產(chǎn)的各種工作環(huán)境。
光學(xué)輪廓儀的主要應(yīng)用：
1、臺(tái)階高度：納米到毫米級(jí)別的3D臺(tái)階高度；
2、紋理：平滑到非常粗糙表面的粗糙度和波紋度；
3、外形：3D翹曲和形狀；
4、應(yīng)力：2D薄膜應(yīng)力；
5、薄膜厚度：30nm到100μm透明薄膜厚度；
6、缺陷檢測(cè)：捕獲大于1μm的缺陷；
7、缺陷復(fù)檢：采用KLARF文件作為導(dǎo)航以測(cè)量缺陷的3D表面形貌或切割道缺陷位置。
儀器特性：
1、大視場(chǎng)下高的垂直分辨率；
2、從0.5x到200x不同放大倍率實(shí)現(xiàn)不同面型和織構(gòu)表面的表征；
3、硬件的優(yōu)化設(shè)計(jì)進(jìn)一步的儀器抗噪聲能力、系統(tǒng)靈活性和測(cè)量穩(wěn)定性；
4、激光自校準(zhǔn)技術(shù)使得儀器間測(cè)量數(shù)據(jù)一致，保證測(cè)量的重復(fù)性和準(zhǔn)確性；
5、優(yōu)異的縫合能力可以對(duì)上千個(gè)數(shù)據(jù)無縫拼接，實(shí)現(xiàn)樣品大面積檢測(cè)；
6、多核處理器和64位軟件使數(shù)據(jù)分析速度提高十倍以上。
