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在半導體晶圓加工、精密機床主軸跳動檢測、航空航天部件形變監(jiān)測等高精度制造場景中,位移測量的精度直接決定產品良率與設備穩(wěn)定性。Microsense作為電容式位移傳感器品牌,通過被動式與主動式兩大探頭技術路線,構建起從亞納米級到毫米級、從靜態(tài)定...
在半導體制造的精密世界里,硅片膜層厚度的微小偏差都可能導致器件性能衰減甚至失效。傳統(tǒng)接觸式測量方法因易劃傷晶圓表面、無法實時監(jiān)測等問題,逐漸被非接觸式技術取代。近紅外光(NIR)憑借其特殊的物理特性,成為硅片厚度測量儀的核心光源,為芯片制造、光伏產業(yè)等領域提供了兼具速度與精度的解決方案。一、穿透性與低吸收:NIR破解多層膜“透明迷宮”硅片表面常沉積有氧化硅、氮化硅、多晶硅等多層薄膜,傳統(tǒng)可見光易被膜層吸收或反射,導致測量信號失真。近紅外光(波長范圍780-2500nm)的能量...
動態(tài)激光干涉儀作為現(xiàn)代精密測量領域的儀器,其核心技術體系融合了光學、電子學和計算機科學的創(chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過激光干涉原理實現(xiàn)納米級動態(tài)測量,在半導體制造、精密光學和超精密加工等領域具有不可替代的作用。一、核心測量原理基于遜干涉儀的光路架構,采用頻率穩(wěn)定的氦氖激光源(波長632.8nm),通過分束鏡產生參考光和測量光。當測量光經(jīng)運動目標反射后與參考光干涉,形成的明暗條紋變化被高靈敏度光電探測器捕獲。位移量計算公式為:ΔL=N×λ/2其中N為條紋計數(shù),λ為激光波長。采用四象限探測...
在工業(yè)設備減振領域,減振臺座的高度設計常被視為"隱形調節(jié)閥",其微小變動可能引發(fā)系統(tǒng)減振性能的連鎖反應。通過解析臺座高度與振動傳遞路徑、固有頻率、結構穩(wěn)定性的動態(tài)關系,可揭示這一參數(shù)在低頻振動控制中的核心價值。一、高度與振動能量的博弈法則當臺座高度從常規(guī)的150mm增至300mm時,振動傳遞路徑長度增加1倍,能量衰減效率提升約15%。這種物理優(yōu)勢在低頻振動場景中尤為顯著:某石化企業(yè)離心泵項目中,通過將臺座高度從設備高度的1/10調整至1/6,成功將10Hz以下振動幅值降低22...
在半導體芯片制造、柔性顯示面板生產、新能源電池封裝等高級制造領域,薄膜厚度的均勻性是決定產品性能與良率的核心指標。傳統(tǒng)測量方法受限于機械定位速度與單點檢測模式,難以滿足現(xiàn)代產線對"實時、全域、高速"的質量控制需求。而新一代自動化厚度測量儀憑借每秒兩個點的測繪能力,以"動態(tài)掃描"替代"靜態(tài)抽檢",正在掀起一場薄膜檢測技術的效率革命。一、極速測繪:技術突破的底層邏輯每秒雙點測繪的實現(xiàn),源于多維度技術協(xié)同創(chuàng)新:1.并行檢測架構:采用雙探頭陣列或分時復用技術,在機械臂移動間隙完成數(shù)據(jù)...
在半導體制造、光學鍍膜、新能源材料等精密工業(yè)領域,薄膜厚度的均勻性與精確性直接決定了產品性能與良率。傳統(tǒng)薄膜厚度測量依賴手動定位或固定點檢測,存在效率低、數(shù)據(jù)覆蓋不全、人為誤差大等痛點。而搭載電動R-Theta平臺的薄膜厚度測量儀,通過極坐標自動化掃描與高精度定位,實現(xiàn)了從“單點抽檢”到“全域測繪”的跨越,為工業(yè)質量控制提供了革命性解決方案。一、R-Theta平臺:極坐標掃描的精密之基電動R-Theta平臺由旋轉(Theta)與徑向移動(R)雙軸構成,可模擬極坐標系下的精準運...